Charakteristika:

1) Rychlost nitridace je vyšší, nitridační cyklus lze vhodně zkrátit a dobu iontové nitridace lze zkrátit na 1/3–2/3 doby plynové nitridace.

2) Křehkost nitridační vrstvy je malá a bílá vrstva vytvořená na povrchu plazmové nitridace je velmi tenká nebo dokonce žádná. Deformace způsobená nitridační vrstvou je navíc malá, což je zvláště vhodné pro přesné díly se složitými tvary.

3) Lze ušetřit energii a spotřebu amoniaku. Spotřeba elektrické energie je 1/2–1/5 plynové nitridace a spotřeba amoniaku je 1/5–1/20 plynové nitridace.

4) Lokální nitridaci lze snadno realizovat, pokud část, která nechce nitridovat, neprodukuje záři. Část, která není nitridována, lze snadno chránit a záři lze chránit mechanickým stíněním a železným plechem.

5) Iontové bombardování může vyčistit povrch a automaticky odstranit pasivační film. Nerezovou ocel a žáruvzdornou ocel lze nitridovat přímo bez předchozího odstranění pasivačního filmu.

6) Lze řídit strukturu složené vrstvy, tloušťku a strukturu infiltrační vrstvy.

7) Teplotní rozsah zpracování je široký a určité tloušťky nitridační vrstvy lze dosáhnout i pod 350 °C.

8) Zlepšily se pracovní podmínky. Provádí se plazmová nitridace bez znečištění za velmi nízkého tlaku s velmi malým množstvím výfukových plynů. Zdrojem plynu je dusík, vodík a amoniak a v podstatě nevznikají žádné škodlivé látky.

9) Lze jej použít na všechny druhy materiálů, včetně nerezové oceli, žáruvzdorné oceli s vysokou nitridační teplotou, nástrojové oceli a přesných dílů s nízkou nitridační teplotou, zatímco nízkoteplotní nitridace je pro plynovou nitridaci poměrně obtížná.